Professur für Mikrosystem- und Gerätetechnik am Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik
Technische Universität Chemnitz
Reichenhainer Str. 70
09126 Chemnitz
Tel.: +49 371 531-33264
Fax: +49 371 531-24439
microsys@etit.tu-chemnitz.de
http://www.tu-chemnitz.de/etit/microsys
Institutsleiter: Prof. Dr.-Ing. habil. Jan Mehner
Mikrotechnologien und Systemgedanken führen zu neuen gerätetechnischen Lösungen. Die "klassischen" Quellen der Gerätetechnik - Mechanik, Optik, Elektrotechnik und Elektronik - werden durch die Mikrosystemtechnik erweitert und ergänzt.
